电子产品分类
1.1电子级水分为四个级别:I级,II级,III级,IV级
1.2 标记
I级电子级水标记为:EW-I
II级电子级水标记为:EW-II
III级电子级水标记为:EW-III
IV级电子级水标记为:EW-IV
电子产品要求
中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997电子 级水的技术指标应符合表中的规定
级别/指标 |
EW-I |
EW-II |
电阻率MΩ.cm(25℃) |
18以上(95%时间)不低于17 |
15(95%时间)不低于13 |
硅≤μg/l |
2 |
10 |
>1μM微粒数≤个/ml |
0.1 |
5 |
细菌个数≤个/ml |
0.01 |
0.1 |
铜≤μg/l |
0.2 |
1 |
锌≤μg/l |
0.2 |
1 |
镍≤μg/l |
0.1 |
1 |
钠≤μg/l |
0.5 |
2 |
钾≤μg/l |
0.5 |
2 |
氯≤μg/l |
1 |
1 |
硝酸根≤μg/l |
1 |
1 |
磷酸根≤μg/l |
1 |
1 |
硫酸根≤μg/l |
1 |
1 |
总有机碳≤μg/l |
20 |
100 |
试验方法
2.1电阻率
电子级水的电阻率按GB/T11446.4-1997的测试方法进行测定
2.2全硅含量(以二氧化硅计)
电子级水全硅(以二氧化硅计)含量按GB/T11446.4-1997的测试方法进行测定
2.3 微粒数
电子级水中微粒数按GB/T11446.4-1997的测试方法进行测定
2.4细菌总数
电子级水中细菌总数按GB/T11446.4-1997的测试方法进行测定
2.5痕量金属含量
电子产品使用水指标
产水指标:SPF动物饮用水标准
卫生学检查:微生物 5CFU/100ml
电导率 ≤2μS/cm ( 电阻率 ≥ 0.5 MΩ/CM)